Bututun TaC Mai Rufi don Ci gaban SiC Guda ɗaya

Bututun da aka shafa da TaC don haɓakar lu'ulu'u guda ɗaya na SiC muhimmin sashi ne na tsarin zafin jiki mai ƙarfi wanda aka tsara musamman don ci gaban tsarin girma lu'ulu'u guda ɗaya na SiC, musamman waɗanda suka dogara da hanyar Fisik Vapor Transport (PVT). A Semixlab, mun ƙera wannan samfurin don biyan buƙatun muhalli masu matuƙar wahala na haɓakar lu'ulu'u na SiC na zamani, inda kwanciyar hankali na zafi, rashin kuzarin sinadarai, da kuma sarrafa gurɓatawa ke ƙayyade ingancin lu'ulu'u kai tsaye, daidaiton yawan amfanin ƙasa, da tsawon lokacin kayan aiki.

A lokacin girman SiC PVT, yanayin cikin gida yana da yanayin zafi mai yawa (wanda ya wuce 2300 °C) da kuma yanayin tururin mai cike da silicon. A ƙarƙashin waɗannan yanayi, abubuwan da ke cikin graphite na gargajiya suna da saurin lalata sinadarai, halayen ƙwayoyin cuta, da kuma sakin ƙazanta - duk waɗannan suna lalata kwanciyar hankali na jigilar tururi da kuma lalata tsarkin lu'ulu'u. Bututun da aka shafa da TaC suna aiki a matsayin hanyar kariya da aiki a yankin zafin jiki mai yawa, suna samar da hanyar jigilar tururi mai rashin aiki da tsari tsakanin kayan tushe da lu'ulu'u iri.

Ta hanyar shafa sinadarin graphite da sinadarin tantalum carbide mai tsafta (TaC), rufin yana ware sinadarin graphite daga tururin silicon mai lalata da carbon. Kwanciyar hankali na thermochemical na TaC da ƙarancin matsin lamba na tururi a yanayin zafi na SiC suna rage lalacewar abu da samuwar barbashi sosai. Wannan yana taimakawa kai tsaye wajen samar da yanayi mai tsafta na girma, yana rage haɗarin shigar da ƙazanta ba da gangan ba da lahani na lu'ulu'u kamar ƙananan bututu ko tsarin polymorphic marasa tsari.

Daga mahangar sarrafa tsari, bututun da aka shafa da TaC suna taka muhimmiyar rawa wajen kiyaye yanayin jigilar tururi mai karko da kuma maimaituwa. Sufurin ciki mai santsi da juriya ga tsatsa suna rage yawan gurɓatar ƙwayoyin cuta da karkacewar geometric yayin zagayowar girma, suna taimakawa wajen kiyaye daidaiton kwararar iskar gas da daidaiton filin zafi. Wannan kwanciyar hankali yana da matuƙar muhimmanci ga girmar ingots na SiC masu girman diamita, inda ko da ƙananan canje-canje a cikin yanayin girma na iya haifar da asarar amfanin gona ko bambancin wafer-zuwa-wafer.

Bututun da aka shafa da TaC na Semixlab sun haɗa da cikakken la'akari da R&D don mannewa na shafi, daidaiton kauri, da kuma dacewa da faɗaɗa zafi tsakanin TaC da graphite. Waɗannan abubuwan suna da mahimmanci don tabbatar da ingancin shafi na dogon lokaci a ƙarƙashin zagayowar zafi mai maimaitawa, ta haka ne za a tsawaita tsawon rayuwar sassan da kuma rage lokacin dakatar da murhu da ba a tsara ba. Idan aka kwatanta da bututun da ba a shafa ba ko waɗanda ke da wasu murfin carbide, maganin rufewar TaC yana ba da juriya mafi girma ga lalata silicon kuma yana rage haɗarin lalata rufin rufi yayin aiki mai tsawo a yanayin zafi mai yawa.

Yayin da masana'antar SiC ke ci gaba zuwa ga girman wafer mai girma, ƙayyadaddun ƙayyadaddun lahani, da kuma yawan amfanin ƙasa, amincin abubuwan da ke cikin yankin zafi ya zama muhimmin abu da ke tasiri ga gasa a masana'antu. Bututun TaC mai rufi don haɓakar lu'ulu'u guda ɗaya na SiC yana wakiltar mafita ta ƙirƙira kayan aiki wanda ke haɓaka kwanciyar hankali na tsari, inganta ingancin lu'ulu'u, kuma yana ba da damar yin aiki na dogon lokaci mai yiwuwa. A Semixlab, muna sanya wannan samfurin a matsayin kayan aiki mai ba da damar maimakon amfani mai amfani, wanda ke ba da ƙarfi ga masana'antun haɓaka lu'ulu'u don cimma haɓakar lu'ulu'u guda ɗaya na SiC mai girma, mai maimaitawa, da kuma tsarki. Semixlab da gaske yana fatan zama abokin tarayya na dogon lokaci a China.