Graphite mai tsayi mai tsayi sosai

Graphite mai girman gaske abu ne mai matuƙar tsarki ga masana'antar semiconductor mai ci gaba, inda kwanciyar hankali mai kyau na zafi, ƙarancin gurɓatawa, da kuma daidaiton tsari suka fi muhimmanci. An ƙera mafita na graphite mai girman gaske na Semixlab musamman don hanyoyin semiconductor masu yawan zafin jiki da kuma masu saurin gurɓatawa.

A cikin tsarin epitaxy, ana amfani da graphite mai tsabta mai zurfi a cikin mahimman abubuwan da ke cikinsa kamar masu riƙe da substrate, masu ɗaukar wafer, tsarin rarraba iskar gas, da abubuwan filin zafi. A lokacin girma na epitaxial na Si, SiC, da GaN, daidaiton zafin jiki da kwararar iskar gas mai ɗorewa sune mahimman abubuwan da ke haifar da sarrafa kauri na fim, daidaiton doping, da kuma rage lahani. Tsarin microrous na Semixlab graphite yana ba da damar rarraba zafi iri ɗaya da watsa iskar gas mai sarrafawa a saman wafer, ta haka yana rage rashin daidaiton Layer na iyaka da tasirin gefen.

A lokacin yaɗuwa da hanyoyin iskar shaka da ke buƙatar aiki mai ɗorewa sama da 1000 °C, graphite mai ramuka masu zurfi yana aiki a matsayin ingantaccen kayan gini da tallafi ga jiragen ruwa na wafer, layuka, da abubuwan kariya na zafi. Idan aka kwatanta da graphite mai yawa, tsarin ramukansa yana rage damuwa da nakasa a lokacin zagayowar zafi mai maimaitawa, yana haɓaka kwanciyar hankali da tsawaita tsawon rayuwar sassan. Rashin daidaiton sinadarai da ke tattare da shi da ƙarancin ƙazanta yana taimakawa wajen kiyaye muhallin tsari mai tsabta, yana tallafawa cikakken iko akan bayanan watsawa na dopant da ingancin fim ɗin oxide yayin da yake rage haɗarin samar da ƙwayoyin cuta da gurɓatawa.

Ga tsarin CVD, LPCVD, da PECVD, graphite mai ramuka masu yawa yana taka muhimmiyar rawa a cikin na'urorin dumama, masu ɗaukar wafer, da kuma sassan ɗakin ciki da aka fallasa ga iskar gas mai amsawa da yanayin zafi mai yawa. Kyakkyawan watsawar zafi na kayan yana tabbatar da saurin canja wurin zafi iri ɗaya, yayin da tsarin ramukansa yana ba da damar sarrafa kama samfuran da aka adana, rage fashewar da sakin barbashi yayin aikin kayan aiki mai tsawo. Wannan yana ba da gudummawa kai tsaye ga ingantaccen kwanciyar hankali na tsari, tsawaita tazara na kulawa, da ƙaruwar lokacin aiki na kayan aiki.

Ana ƙera graphite mai tsabta mai zurfi na Semixlab a ƙarƙashin tsarin kula da inganci mai tsauri, tare da kula da zaɓin kayan masarufi, tsarkakewa, da injiniyan ƙananan abubuwa. Idan ana buƙatar tsawaita lokacin aiki ko aiki a cikin yanayin sinadarai masu wahala, wannan samfurin ya dace da rufin kariya na zamani kamar SiC ko TaC. Ta hanyar amfani da sassaucin ƙira na musamman, iya aiki da injina, da fasahar rufin semiconductor mai ci gaba, mafitarmu za a iya daidaita ta daidai da takamaiman buƙatun dandamali da wurin aikin kayan aikin semiconductor ɗinku. Muna fatan zama abokin tarayya na dogon lokaci a China.